一種采用無(wú)壓燒結(jié)法制備ITO靶材的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710190222.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106904944B 公開（公告）日 2020-02-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN106904944B 申請(qǐng)公布日 2020-02-21
分類號(hào) C04B35/01;C04B35/457;C04B35/634;C04B35/64 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 張?zhí)焓?宋曉超;張?zhí)煊?何東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張清彥
地址 230012 安徽省合肥市新站區(qū)文忠路999號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種采用無(wú)壓燒結(jié)法制備ITO靶材的方法，屬于ITO靶材制備技術(shù)領(lǐng)域，包括以下步驟：混合鹽溶液及沉淀體系的制備：根據(jù)重量比為In2O3：SnO2＝9:1，量取InCl3溶液和SnCl4溶液置于反應(yīng)釜中，加入過(guò)量20％以上的尿素，再加入復(fù)合分散劑，攪拌混合均勻；逐步升溫至反應(yīng)液中In3+完全沉淀為止，超聲處理，保持?jǐn)嚢璨㈥惢?，得到金屬沉淀物；?jīng)洗滌、干燥、研磨、過(guò)篩、高溫煅燒，得高燒結(jié)活性的納米ITO粉末；在ITO粉末中加入聚乙烯醇造粒，利用模具壓制成ITO素坯；將素坯置于無(wú)壓氧氣氛燒結(jié)爐中保溫1400～1700℃，可得高致密化的ITO靶材(》99.5％)。