逆導(dǎo)型絕緣柵雙極型晶體管及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110029852.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112768447A 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN112768447A 申請公布日 2021-05-07
分類號 H01L27/07(2006.01)I;H01L21/8222(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 韓健;何火軍;顧悅吉;黃示;王益來;胡一峰 申請（專利權(quán)）人 杭州士蘭集昕微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京成創(chuàng)同維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔡純;李鎮(zhèn)江
地址 310018浙江省杭州市錢塘新區(qū)10號大街（東）308號13幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種逆導(dǎo)型絕緣柵雙極型晶體管及其制造方法，逆導(dǎo)型絕緣柵雙極型晶體管包括：絕緣柵雙極型晶體管區(qū)和至少一個(gè)快速恢復(fù)二極管區(qū)，至少一個(gè)快速恢復(fù)二極管區(qū)設(shè)置在絕緣柵雙極型晶體管區(qū)中，絕緣柵雙極型晶體管區(qū)包圍至少一個(gè)快速恢復(fù)二極管區(qū)；至少一個(gè)緩沖區(qū)，至少一個(gè)緩沖區(qū)與至少一個(gè)快速恢復(fù)二極管區(qū)對應(yīng)設(shè)置，分別位于至少一個(gè)快速恢復(fù)二極管區(qū)和絕緣柵雙極型晶體管區(qū)之間，至少一個(gè)緩沖區(qū)分別包圍至少一個(gè)快速恢復(fù)二極管區(qū)。本發(fā)明實(shí)施例的逆導(dǎo)型絕緣柵雙極型晶體管減少了快速恢復(fù)二極管區(qū)對相鄰絕緣柵雙極型晶體管區(qū)的動(dòng)態(tài)參數(shù)的影響，減小了柵極電阻，降低了器件的開關(guān)損耗，提高了器件的可靠性。??