微機(jī)電傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022170718.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214122270U 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN214122270U 申請公布日 2021-09-03
分類號 G01P15/125（2006.01）I;B81B5/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 季鋒;聞永祥;劉琛;賀錦 申請（專利權(quán)）人 杭州士蘭集昕微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京成創(chuàng)同維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔡純;馬陸娟
地址 310018浙江省杭州市杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)10號大街（東）308號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種微機(jī)電傳感器，微機(jī)電傳感器包括：位于襯底上的埋層，埋層上設(shè)置有多個檢測電極和多個布線電極；位于多個檢測電極和多個布線電極上方的扭擺臂，扭擺臂、多個檢測電極和多個布線電極互不接觸；位于扭擺臂上方的扭擺和多個可動扭擺塊，多個可動扭擺塊通過扭擺臂與扭擺連接，多個可動扭擺塊和扭擺臂形成可動結(jié)構(gòu)；位于扭擺臂上方的多個固定電極；位于埋層上的支撐壁，保護(hù)壁位于支撐壁上，支撐壁和保護(hù)壁圍成空腔，可動結(jié)構(gòu)、扭擺、多個檢測電極、多個布線電極和多個固定電極位于空腔中。本實(shí)用新型實(shí)施例提高了微機(jī)電傳感器的靈敏度，改善了可動結(jié)構(gòu)在沖擊下斷裂的問題。