一種高性能CrAlSiX合金靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911401707.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111188016A 公開（公告）日 2020-05-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN111188016A 申請(qǐng)公布日 2020-05-22
分類號(hào) C23C14/34;C22C21/00;C22C27/06;C22C30/00 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張鳳戈;張欠男;魏鐵峰;李建奎;姚偉;繆磊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京安泰六九新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京五洲洋和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
地址 100081 北京市海淀區(qū)學(xué)院南路76號(hào)17幢一層101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高性能CrAlSiX合金靶材及其制備方法，其中，X為W、Mo、Nb、Ta中的一種或多種，所述高性能CrAlSiX合金靶材具有雙層結(jié)構(gòu)且由上層和底層復(fù)合而成，所述上層為CrAlSiX基體靶，所述CrAlSiX基體靶按原子百分比由以下成分組成：Cr＝20?70％，Al＝20?70％，Si＝0?20％，X＝1?20％；所述底層為具有良好導(dǎo)熱性能和力學(xué)性能的金屬合金。采用本發(fā)明靶材制備的刀具涂層可顯著提升高速干式切削時(shí)的切削速率和刀具使用壽命。