一種組合式PVD鍍膜靶材及PVD鍍膜機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020238511.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN212025441U 公開(kāi)（公告）日 2020-11-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN212025441U 申請(qǐng)公布日 2020-11-27
分類號(hào) C23C14/22(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張鳳戈;岳萬(wàn)祥;魏鐵峰;繆磊;高眾;姚偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京安泰六九新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京五洲洋和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
地址 100081北京市海淀區(qū)學(xué)院南路76號(hào)17幢一層101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種組合式PVD鍍膜靶材及PVD鍍膜機(jī)，所述組合式PVD鍍膜靶材包括材質(zhì)不同的靶材本體和底座，所述靶材本體與所述底座分體設(shè)置，所述底座的第一端與所述靶材本體的一端連接，將所述底座與所述靶材本體組合為一體。本實(shí)用新型的組合式PVD鍍膜靶材可以解決現(xiàn)有技術(shù)的脆性靶材與鍍膜機(jī)安裝配合時(shí)存在容易斷裂的問(wèn)題，有助于改善成膜質(zhì)量，提高生產(chǎn)效率并降低成本。??