一種鈦硅合金靶材及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010154164.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111136265B 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN111136265B 申請公布日 2022-02-18
分類號 B22F3/04（2006.01）I;B22F3/15（2006.01）I;C22C1/05（2006.01）I;C22C1/10（2006.01）I;C22C14/00（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 鑄造；粉末冶金;
發(fā)明人 張鳳戈;李建奎;魏鐵峰;張欠男;繆磊;張學(xué)華;岳萬祥 申請（專利權(quán)）人 北京安泰六九新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉春成;榮紅穎
地址 100081北京市海淀區(qū)學(xué)院南路76號17幢一層101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鈦硅合金靶材及制造方法，屬于合金靶材制備領(lǐng)域。該方法包括：合金粉末制備步驟，將鈦源和硅源混料制成合金粉末；冷等靜壓步驟，對所述合金粉末進行冷等靜壓處理，得到壓坯；脫氣步驟，對所述壓坯進行脫氣處理；熱等靜壓步驟，對所述脫氣處理后的壓坯進行熱等靜壓處理，得到鈦硅合金靶材。鈦硅合金靶材具有致密度高、合金化程度高，無氣孔和偏析，組織均勻，晶粒細小等優(yōu)點，相對密度超過99％，平均晶粒尺寸不大于100μm。