一種復(fù)合靶材及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111242414.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113981389A 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN113981389A 申請公布日 2022-01-28
分類號 C23C14/34（2006.01）I;B22F7/02（2006.01）I;B22F3/14（2006.01）I;C22C14/00（2006.01）I;C22C21/00（2006.01）I;C22C27/06（2006.01）I;B22F3/00（2021.01）I;B22F3/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張鳳戈;張欠男;魏鐵峰;岳萬祥;張學華;繆磊 申請（專利權(quán)）人 北京安泰六九新材料科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100089北京市海淀區(qū)學院南路76號17幢一層101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及靶材制備的技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種復(fù)合靶材及其制造方法，一種復(fù)合靶材的制造方法，所述復(fù)合靶材包括基體靶層和復(fù)合層，復(fù)合靶材包括以下制備步驟：S1：制備基體靶層粉末和復(fù)合層粉末；S2：基體靶層粉末和復(fù)合層粉末分層填充到模具中，在真空條件下進行熱壓燒結(jié)處理，經(jīng)冷卻后，脫模得到燒結(jié)致密的圧坯；S3：將致密化壓坯通過軋制變形，得到大尺寸板坯；S4、將步驟S3得到軋制板坯進行機加工，得到符合尺寸和表面質(zhì)量的復(fù)合靶材。一種復(fù)合靶材，所述復(fù)合靶材的復(fù)合層熱導率不小于150W/（m.K），抗拉強度不小于90MPa，斷后伸長率不小于2%。本申請具有提高靶材與復(fù)合層結(jié)合緊密性的效果。