一種鈦基合金的濺射靶材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111292639.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113996787A 公開（公告）日 2022-02-01
申請公布號 CN113996787A 申請公布日 2022-02-01
分類號 B22F3/15（2006.01）I;B22F3/02（2006.01）I;B22F3/03（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C22C14/00（2006.01）I;C22C1/04（2006.01）I 分類 鑄造；粉末冶金;
發(fā)明人 張鳳戈;岳萬祥;魏鐵峰;張欠男;張學(xué)華;李建奎 申請（專利權(quán)）人 北京安泰六九新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100089北京市海淀區(qū)學(xué)院南路76號17幢一層101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請具體公開了一種鈦基合金的濺射靶材的制備方法。包括以下步驟：S1混合，在保護(hù)氣氛下，將原料混合得到混合粉末；S2冷壓成型，將混合粉末加入到冷壓模具中，壓制成冷壓坯，所述冷壓坯的致密度為40?87%；S3脫氣，將冷壓坯轉(zhuǎn)移到熱等靜壓模具中，脫氣；S4熱等靜壓燒結(jié)，脫氣后的冷壓坯在熱等靜壓模具中進(jìn)行熱等靜壓燒結(jié)處理。本申請的制備方法具有材料利用率高、靶材生產(chǎn)成本低等優(yōu)點(diǎn)。