半導(dǎo)體設(shè)備精密結(jié)構(gòu)件用6系鋁合金板材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011182043.8 申請日 -
公開(公告)號(hào) CN112375947A 公開(公告)日 2021-02-19
申請公布號(hào) CN112375947A 申請公布日 2021-02-19
分類號(hào) C22C21/08(2006.01)I; 分類 冶金;黑色或有色金屬合金;合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 張立鑫;祖立成;張義;董藝偉;陳金生;崔鴻勛 申請(專利權(quán))人 天津忠旺鋁業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同恒源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陰知見
地址 301700天津市武清區(qū)汽車零部件產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于鋁合金制造技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備精密結(jié)構(gòu)件用6系鋁合金板材的制備方法,鋁合金原料按照重量百分比進(jìn)行配料,即:Si:0.56~0.62%、Fe≤0.2%、Cu:0.27~0.33%、Mn:0.06~0.10%、Mg:0.96~1.04%、Cr:0.18~0.26%、Zn≤0.04%、Ti≤0.02%、單個(gè)雜質(zhì)≤0.05%,合計(jì)≤0.15%,余量為Al,熱軋采用大變形量少道次的軋制方式,使合金中粗大第二相充分破碎,減少晶界粗大富鐵相帶來的負(fù)面影響。提高均勻化熱處理溫度以及延長均勻化熱處理時(shí)間,保證合金鑄錠成分均勻性,制備的6061?T651鋁合金板材性能滿足半導(dǎo)體設(shè)備精密結(jié)構(gòu)件的使用要求。??