一種電子束對中裝置及對中方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110901033.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113707513A 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN113707513A 申請公布日 2021-11-26
分類號 H01J3/26（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉駿;王劉成;孔文文;張偉;仇小軍 申請（專利權(quán)）人 無錫日聯(lián)科技股份有限公司
代理機構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務所（普通合伙） 代理人 劉松
地址 214112江蘇省無錫市新吳區(qū)漓江路11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電子束對中裝置及對中方法，具體包括以下步驟：在真空狀態(tài)下，產(chǎn)生電子束；對偏轉(zhuǎn)線圈以一定步長施加偏轉(zhuǎn)電流，并記錄電流計的示數(shù)；計算機對掃描過程進行分析，得到電流計示數(shù)最小時所施加的偏轉(zhuǎn)電流；重復上述步驟，得到電子束對中參數(shù)，解決了傳統(tǒng)電子束對中裝置結(jié)構(gòu)復雜，調(diào)整起來費時費力的問題，通過掃描方式完成電子束的對中，大大提高了對中精度且可實現(xiàn)調(diào)整過程的智能化且對中裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便。