開放式微焦點(diǎn)X射線源及其控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111006063.4 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN113793790A 公開(公告)日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113793790A 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類號(hào) H01J35/14(2006.01)I;H05G1/26(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 仇小軍;孔文文;張偉;王劉成;侯頎 申請(qǐng)(專利權(quán))人 無錫日聯(lián)科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 姜曉鈺
地址 214112江蘇省無錫市新吳區(qū)漓江路11號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種開放式微焦點(diǎn)X射線源及其控制方法,所述開放式微焦點(diǎn)X射線源包括:開放式射線管,開放式射線管包括陰極系統(tǒng)、偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、聚焦系統(tǒng);高壓電源系統(tǒng),高壓電源系統(tǒng)用于為電子束提供發(fā)射電流I、加速高壓U和柵壓U;真空系統(tǒng),真空系統(tǒng)用于進(jìn)行抽真空處理;控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)用于根據(jù)轟擊陽極靶的電子束的束斑尺寸控制高壓電源系統(tǒng)對(duì)發(fā)射電流I、加速高壓U、偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的偏轉(zhuǎn)線圈電流I、聚焦系統(tǒng)的聚焦線圈電流I進(jìn)行調(diào)節(jié),以使束斑尺寸滿足預(yù)設(shè)要求。該開放式微焦點(diǎn)X射線源可以根據(jù)反饋參數(shù)變化對(duì)輸入?yún)?shù)進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié),使開放式微焦點(diǎn)X射線源工作在最佳參數(shù)下,減少人為操作引起的錯(cuò)誤,使放射出的X光的質(zhì)量更高,穩(wěn)定性更好。