清洗槽

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201621018596.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206083241U 公開（公告）日 2017-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN206083241U 申請(qǐng)公布日 2017-04-12
分類號(hào) B08B3/02(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 湯衛(wèi)民 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海泰特實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃冠華
地址 200000 上海市青浦區(qū)金澤鎮(zhèn)蓮湖路53號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種清洗槽，包括一底壁和垂直設(shè)置在底壁上的4個(gè)側(cè)壁，其中，底壁的下方設(shè)置有氣缸裝置，氣缸裝置帶動(dòng)底壁上下運(yùn)動(dòng)，底壁上還設(shè)置有換能器裝置，4個(gè)側(cè)壁中左右相對(duì)設(shè)置的2個(gè)側(cè)壁的頂部設(shè)置有噴淋裝置，4個(gè)側(cè)壁中前后相對(duì)設(shè)置的2個(gè)側(cè)壁的底部設(shè)置有下給水裝置。本實(shí)用新型通過(guò)在清洗槽上設(shè)置氣缸裝置、換能器裝置、噴淋裝置以及下給水裝置，從而實(shí)現(xiàn)清洗槽的一體化設(shè)計(jì)，與現(xiàn)有技術(shù)中的清洗槽相比，可以實(shí)現(xiàn)的功能更多，效率更高，更節(jié)約資源，對(duì)晶片生產(chǎn)過(guò)程中的移動(dòng)次數(shù)更少，從而達(dá)到提高成品率，提高生產(chǎn)效率，節(jié)約資源的目的。