一種硼摻雜選擇性發(fā)射極電池的制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202111114807.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN113871512A | 公開（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申請公布號 | CN113871512A | 申請公布日 | 2021-12-31 |
| 分類號 | H01L31/18（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 任常瑞;張佳舟;高治坤;符黎明 | 申請（專利權(quán)）人 | 常州時創(chuàng)能源股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 213300江蘇省常州市溧陽市溧城鎮(zhèn)吳潭渡路8號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種硼摻雜選擇性發(fā)射極電池的制備方法，包括在硼擴(kuò)散之前制備掩膜；所述制備掩膜包括如下步驟：掩膜前驅(qū)體鏈?zhǔn)匠练e、掩膜前驅(qū)體鏈?zhǔn)焦袒脱谀ぜす忾_槽。本發(fā)明采用前驅(qū)體鏈?zhǔn)匠练e固化成膜的方式，使前驅(qū)體在硅片表面快速交聯(lián)成膜，獲得具有較高致密度的掩膜。本發(fā)明前驅(qū)體沉積和固化采用鏈?zhǔn)街瞥?，不需要?fù)雜上下料過程，對硅片尺寸兼容性良好。 |
