硅片堿拋光用添加劑及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111279549.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114032035A 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN114032035A 申請公布日 2022-02-11
分類號 C09G1/04（2006.01）I;H01L21/306（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 裴銀強(qiáng);章圓圓;陳培良 申請（專利權(quán)）人 常州時創(chuàng)能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 213300江蘇省常州市溧陽市溧城鎮(zhèn)吳潭渡路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片堿拋光用添加劑，其各組分的含量為：0.5～2質(zhì)量份明膠、1～2質(zhì)量份丙烯酰胺、0.5～2質(zhì)量份季銨鹽、1～3質(zhì)量份對氨基水楊酸鈉、4～5質(zhì)量份硫氰酸銨、3～4質(zhì)量份烷基糖苷、0.1～0.3質(zhì)量份苯甲酸鈉、81.7～89.9質(zhì)量份水。在硅片堿拋光的拋光液中添加本發(fā)明的添加劑，能改變[111]/[100]面的反應(yīng)速率，抑制[100]面的反應(yīng)速度，能改變硅片背面平整度，能使堿拋光后硅片背面形成相對粗糙的小尺寸塔基狀結(jié)構(gòu)，小幅度降低硅片背面反射率，這有利于背面漿料接觸，提升漿料拉力，還能使FF得以提升，提高電池片電性能。