一種離子注入納米強(qiáng)化層的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111579287.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114457317A 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN114457317A 申請公布日 2022-05-10
分類號 C23C14/48（2006.01）I;C23C14/14（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 邱維維;王非;李曉會;包知迪 申請（專利權(quán)）人 北京機(jī)械工業(yè)自動化研究所有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100120北京市西城區(qū)德勝門外教場口街1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種離子注入納米強(qiáng)化層的制備方法，包括如下步驟：對待加工件進(jìn)行預(yù)處理，采用超聲波清洗對所述待加工件進(jìn)行離子注入前的清洗；將清洗后的所述待加工件放入真空室內(nèi)，裝夾在工裝卡具上并抽真空；對所述待加工件進(jìn)行升溫；采用氣體離子源或MEVVA離子源對所述待加工件進(jìn)行非金屬離子注入；以及采用MEVVA離子源對所述待加工件進(jìn)行金屬離子注入。本發(fā)明在不改變引出離子能量的條件下，通過增加待加工件內(nèi)部原子之間的間距后，再進(jìn)行離子注入，大大提高了注入離子入射到工件表面的濃度和深度，改變了工件材料更深層次的化合物，以及強(qiáng)化相，進(jìn)一步提高了工件材料表面的硬度和抗接觸疲勞性能，從而可以進(jìn)一步延長工件改性層的壽命。