一種半導(dǎo)體真空插板閥

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122325756.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215806419U 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN215806419U 申請公布日 2022-02-11
分類號 F16K3/02（2006.01）I;F16K3/30（2006.01）I;F16K3/314（2006.01）I;F16K27/04（2006.01）I;F16K31/122（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 鄒亞偉;張魁榜;齊英;陳林 申請（專利權(quán)）人 四川九天真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王鍇
地址 637000四川省南充市西充縣多扶工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導(dǎo)體真空插板閥，包括閥體、蓋板、支撐框架、驅(qū)動機(jī)構(gòu)、閥桿和閥板；閥體的側(cè)壁開設(shè)有閥門開口，蓋板密封蓋設(shè)在閥體非通路方向的頂部開口上，支撐框架連接在蓋板的上方，驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接在支撐框架上；蓋板上開設(shè)有通孔，閥桿的一端與驅(qū)動機(jī)構(gòu)的輸出端相連，閥桿的另一端穿過蓋板上的通孔伸進(jìn)閥體的內(nèi)腔中，閥板用于封閉閥門開口；閥桿和蓋板之間密封連接有套設(shè)在閥桿外周的波紋管。閥桿在驅(qū)動機(jī)構(gòu)的作用下帶動閥板運動以封閉或開啟閥門開口的過程中，閥桿與周邊部件之間動摩擦少，可以有效減少動摩擦產(chǎn)生的粒子數(shù)，而波紋管隨閥桿的運動做伸縮運動，可以防止外部粒子進(jìn)入閥體的內(nèi)腔中，有利于閥體內(nèi)腔保持較高的真空度。