一種半導(dǎo)體設(shè)備L型真空閥門

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120817433.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215059989U 公開（公告）日 2021-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN215059989U 申請(qǐng)公布日 2021-12-07
分類號(hào) F16K51/02（2006.01）I;F16K27/00（2006.01）I;F16K31/122（2006.01）I;F16K35/02（2006.01）I;F15B15/14（2006.01）I;F15B15/20（2006.01）I;F15B15/24（2006.01）I;F15B15/26（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 胡開鵬;張魁榜;齊英;陳林 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川九天真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都嘉企源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡建超
地址 637200四川省南充市西充縣多扶工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備L型真空閥門，包括閥板、運(yùn)動(dòng)件和運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌件，閥板與閥桿連接，閥桿與運(yùn)動(dòng)件連接；安裝板內(nèi)部設(shè)置有兩條獨(dú)立完整的氣路，安裝板的下部安裝著第一氣缸和第二氣缸，兩個(gè)氣缸的氣路通過安裝板內(nèi)部的兩條氣路連接貫通，氣缸的內(nèi)側(cè)設(shè)置有機(jī)械限位氣缸，第一氣缸和第二氣缸的活塞桿連接著底板，底板連接著兩個(gè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌件，運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌件側(cè)面設(shè)置有第一導(dǎo)軌槽，第一導(dǎo)軌槽與機(jī)械限位氣缸配合進(jìn)行限位，運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌件另一面設(shè)置有兩個(gè)弧線槽，弧線槽與運(yùn)動(dòng)件上的固定件配合運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，部件損耗低，維護(hù)成本低，密封的穩(wěn)定性和持久性高，操作安全。