三氯氫硅加壓提純方法及其裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200510200334.4 申請日 -
公開（公告）號 CN1330569C 公開（公告）日 2007-08-08
申請公布號 CN1330569C 申請公布日 2007-08-08
分類號 C01B33/08(2006.01);C01B33/107(2006.01) 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 沈祖祥;嚴(yán)大洲;湯傳斌;肖榮暉 申請（專利權(quán)）人 中國有色工程有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中建聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 中國有色工程設(shè)計研究總院;中國有色工程有限公司
地址 100038北京市北京市海淀區(qū)復(fù)興路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種三氯氫硅加壓提純方法及其裝置，將待提純的三氯氫硅、四氯化硅、氯硅烷混合液輸入提純塔的加料口，混合液經(jīng)提純塔下流至蒸餾釜，蒸餾釜壓力為0.15MPa～1.5Mpa、溫度為70℃～200℃；從蒸餾釜出來的蒸汽進(jìn)入提純塔中進(jìn)行熱量與成分的交換與分離，提純塔內(nèi)的操作溫度為40～150℃，沸點低的三氯氫硅組分在汽相中富集，沸點高的四氯化硅組分在液相中富集，經(jīng)過多次汽化、冷凝，最終在汽相中得到三氯氫硅汽化組分，然后進(jìn)入塔頂水冷凝器，經(jīng)循環(huán)水冷卻、冷凝成三氯氫硅液體。本發(fā)明可使同樣塔徑的提純塔產(chǎn)量提高50％；減少了冷凍所需的設(shè)備投資和設(shè)備運行費用，塔頂水冷凝器的換熱效率提高約15％，大大降低了能耗。