一種藍寶石襯底的制造方法和滴蠟設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910796178.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110660696B 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN110660696B 申請公布日 2021-09-21
分類號 H01L21/66（2006.01）I;H01L33/00（2010.01）I;B24B37/10（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐良;朱志平;藍文安;支俊華;占俊杰;陽明益;劉建哲;余雅俊 申請（專利權(quán)）人 浙江博藍特半導體科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董李欣
地址 321000浙江省金華市南二環(huán)西路2688號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種藍寶石襯底的制造方法和滴蠟設(shè)備，該制造方法在晶片退火之后直接進行甩蠟烘烤、滴蠟測量和滴蠟拋光步驟。滴蠟拋光步驟包括：在烘烤后的蠟?zāi)さ谋砻婢恼行囊淮涡缘蜗骂A(yù)先測定的蠟料；將滴蠟后的晶片的蠟?zāi)っ媾c帶有熱度的陶瓷盤平面相貼，使蠟滴被擠壓形成圓形蠟餅，并相應(yīng)地在晶片的與蠟?zāi)っ嫦鄬Φ谋趁骓斊鹨慌c蠟餅形狀一致的圓臺；對產(chǎn)生圓臺的晶片的背面進行拋光，使晶片的背面中間凹陷且圓臺的外緣與晶背面的其余部分平滑過渡，并成為中間凹陷底部的圓面。滴蠟設(shè)備包括吸盤、點膠閥、儲蠟桶、導蠟管和數(shù)顯調(diào)壓閥。本發(fā)明的藍寶石襯底的制造方法和滴蠟設(shè)備，省去了晶片彎曲度分選工作，并能大幅提升襯底的產(chǎn)品合格率。