一種碳化硅晶片拋光工藝轉運用裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921914353.7 申請日 -
公開（公告）號 CN212332677U 公開（公告）日 2021-01-12
申請公布號 CN212332677U 申請公布日 2021-01-12
分類號 B62B3/00(2006.01)I 分類 無軌陸用車輛;
發(fā)明人 徐良;曹力力;藍文安;朱衛(wèi)祥;夏建白;李京波 申請（專利權）人 浙江博藍特半導體科技股份有限公司
代理機構 北京辰權知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 浙江博藍特半導體科技股份有限公司
地址 321000浙江省金華市南二環(huán)西路2688號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種碳化硅晶片拋光工藝轉運用裝置，包括推車框架、用于盛放陶瓷盤的多個陶瓷盤架、萬向滾輪和直行滾輪，萬向滾輪和直行滾輪分別轉動連接于推車框架的底部兩側，多個陶瓷盤架沿推車框架的高度依次安裝于推車框架的內(nèi)部，多個陶瓷盤架與水平面成成夾角θ傾斜設置，夾角θ的角度為10?20度。本實用新型的碳化硅晶片拋光工藝轉運用裝置，可以高效穩(wěn)定的對各工序陶瓷盤進行轉運，也可以用于臨時存放陶瓷盤，操作方便，能有效保證生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。??