平面光波導(dǎo)及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110566627.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113433617A 公開（公告）日 2021-09-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN113433617A 申請(qǐng)公布日 2021-09-24
分類號(hào) G02B6/122（2006.01）I;G02B6/13（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I;C23C16/505（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/04（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 徐良;曹力力;藍(lán)文安;劉圣龍;劉建哲;余雅俊;夏建白;李京波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江博藍(lán)特半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 佟林松
地址 321000浙江省金華市南二環(huán)西路2688號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種平面光波導(dǎo)及其制備方法，該平面光波導(dǎo)包括由下至上依次層疊的基板、納米熱壓印膠層、第一包層、波導(dǎo)芯層和第二包層；所述納米熱壓印膠層的表面形成有多個(gè)凹槽；所述第一包層形成于所述凹槽的側(cè)壁、底壁和所述納米熱壓印膠層的上表面；所述波導(dǎo)芯層填充所述凹槽，并且與所述納米熱壓印膠層之間由所述第一包層間隔開；所述第二包層作為所述平面光波導(dǎo)的外表面覆蓋所述第一包層和所述波導(dǎo)芯層。本發(fā)明中的平面光波導(dǎo)通過(guò)在基板上設(shè)置納米熱壓印膠層，并在納米熱壓印膠層上形成波導(dǎo)芯層，能夠避免使用刻蝕和離子擴(kuò)散等傳統(tǒng)工藝，降低工藝成本，減少污染，進(jìn)一步推進(jìn)PLC光器件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。