碳化硅晶體的生長裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020619456.7 申請日 -
公開（公告）號 CN212834141U 公開（公告）日 2021-03-30
申請公布號 CN212834141U 申請公布日 2021-03-30
分類號 C30B23/00(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐良;楊新鵬;藍文安;劉建哲;余雅俊;夏建白;李京波;郭煒;葉繼春;占俊杰 申請（專利權(quán)）人 浙江博藍特半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京辰權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 佟林松
地址 321000浙江省金華市南二環(huán)西路2688號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種碳化硅晶體的生長裝置，該生長裝置包括坩堝組件和籽晶固定器，所述坩堝組件包括坩堝體、石墨隔板和坩堝蓋，所述石墨隔板設(shè)置在坩堝體上部，并且石墨隔板上具有通氣孔結(jié)構(gòu)，所述坩堝蓋蓋設(shè)在坩堝體上以構(gòu)成坩堝內(nèi)部容納腔；所述籽晶固定器設(shè)置在坩堝蓋內(nèi)側(cè)，且位于石墨隔板上方。通過石墨隔板對向上升華的氣相物進行整流，降低生產(chǎn)成本的同時提升晶體的合格率及品質(zhì)。??