基于光學(xué)反射定律對(duì)真空玻璃真空度的在線檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710545281.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107328519B 公開(kāi)（公告）日 2019-09-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN107328519B 申請(qǐng)公布日 2019-09-27
分類(lèi)號(hào) G01L21/00;G01L11/02 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉偉偉;李帥;林列;陳平 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 威海光子信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津耀達(dá)律師事務(wù)所 代理人 南開(kāi)大學(xué)
地址 300071 天津市南開(kāi)區(qū)衛(wèi)津路94號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于光學(xué)反射定律對(duì)真空玻璃真空度的在線檢測(cè)方法，其目的是實(shí)時(shí)在線檢測(cè)真空玻璃在抽氣封口時(shí)其內(nèi)部的真空度的變化，并以此作為品控手段來(lái)滿足生產(chǎn)要求提高成品率。其技術(shù)方案為：通過(guò)利用真空玻璃的上下兩塊平板玻璃的四個(gè)表面對(duì)檢測(cè)光束的反射，搭建起一條多次反射的光路，在真空玻璃的生產(chǎn)過(guò)程的排氣封口步驟中，由于真空玻璃內(nèi)部狹縫與外部大氣壓強(qiáng)作用而產(chǎn)生的壓強(qiáng)差的作用下，則上下層平板玻璃表面會(huì)發(fā)生一定量的內(nèi)凹形變，由此將會(huì)導(dǎo)致反射光路的光斑的移動(dòng)，我們由反射光路光斑的移動(dòng)即可斷定真空玻璃內(nèi)部壓強(qiáng)的變化，由反射光斑移動(dòng)的位移來(lái)判斷真空玻璃內(nèi)部壓強(qiáng)變化大小。以此達(dá)到品控的目的來(lái)提高真空玻璃出廠成品率。