一種便于清理的化學機械拋光設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911211969.2 申請日 -
公開（公告）號 CN110877286B 公開（公告）日 2021-01-15
申請公布號 CN110877286B 申請公布日 2021-01-15
分類號 B24B37/10;B24B37/34;B24B57/02 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 董興超 申請（專利權）人 鹽城恒遠投資發(fā)展有限公司
代理機構 深圳靈頓知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 鹽城恒遠投資發(fā)展有限公司;深圳市安達工業(yè)設計有限公司
地址 224000 江蘇省鹽城市鹽都區(qū)研創(chuàng)大廈1306室（D）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種便于清理的化學機械拋光設備，包括底座和產(chǎn)品，所述底座內(nèi)部開設有第一固定槽，其中，所述第一固定槽內(nèi)部安裝有滴液分配器，所述滴液分配器頂部連接有第一滴液管，靠近第一滴液管的所述滴液分配器頂部連接有第二滴液管，靠近第一固定槽的所述底座內(nèi)部安裝有第一電機，所述第一電機一側套接有第一旋轉塊。該便于清理的化學機械拋光設備設置有產(chǎn)品在打磨時第二滴液管會將打磨液輸送到打磨墊上，打磨墊會將打磨后的打磨液流淌到打磨槽內(nèi)，以便打磨槽可以將打磨液輸送到導向槽內(nèi)，由導向槽將打磨液輸送到儲存槽內(nèi)，從而產(chǎn)品打磨結束后可以將儲存槽與第一連接槽進行分離，方便儲存槽可以將打磨后的雜質(zhì)與打磨液進行清理。