生物刻蝕設(shè)備及生物刻蝕方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110220152.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113161261A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN113161261A 申請(qǐng)公布日 2021-07-23
分類(lèi)號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/302（2006.01）I;H01L21/311（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 藍(lán)梓淇 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣東綠展科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤(rùn)平知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳瀟瀟
地址 528251廣東省佛山市南海區(qū)桂城街道夏南路12號(hào)天富科技中心4號(hào)樓1層102單元1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種生物刻蝕設(shè)備及生物刻蝕方法，包括：底座，底座上安裝有：刻蝕箱體，刻蝕箱體具有能夠置入待加工基體的側(cè)開(kāi)口；刻蝕箱體的內(nèi)底部設(shè)置有用于培養(yǎng)刻蝕菌群的培養(yǎng)基，內(nèi)頂部設(shè)置有移動(dòng)吊具，移動(dòng)吊具能夠懸吊待加工基體并將待加工基體移動(dòng)至預(yù)定位置；進(jìn)料裝置，活動(dòng)安裝在底座上，進(jìn)料裝置能夠通過(guò)垂直運(yùn)動(dòng)和水平運(yùn)動(dòng)托起待加工基體，并將待加工基體通過(guò)側(cè)開(kāi)口送入或移出刻蝕箱體；控制裝置，與刻蝕箱體和進(jìn)料裝置電連接，用于控制進(jìn)料裝置運(yùn)動(dòng)以及控制移動(dòng)吊具動(dòng)作。簡(jiǎn)化了工藝流程，工藝簡(jiǎn)單易操作；生物刻蝕的刻蝕效率高，刻蝕精度能夠滿(mǎn)足加工需要。