生物刻蝕設(shè)備及生物刻蝕方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110220152.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113161261A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN113161261A 申請公布日 2021-07-23
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/302（2006.01）I;H01L21/311（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 藍(lán)梓淇 申請（專利權(quán)）人 廣東綠展科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳瀟瀟
地址 528251廣東省佛山市南海區(qū)桂城街道夏南路12號天富科技中心4號樓1層102單元1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種生物刻蝕設(shè)備及生物刻蝕方法，包括：底座，底座上安裝有：刻蝕箱體，刻蝕箱體具有能夠置入待加工基體的側(cè)開口；刻蝕箱體的內(nèi)底部設(shè)置有用于培養(yǎng)刻蝕菌群的培養(yǎng)基，內(nèi)頂部設(shè)置有移動吊具，移動吊具能夠懸吊待加工基體并將待加工基體移動至預(yù)定位置；進(jìn)料裝置，活動安裝在底座上，進(jìn)料裝置能夠通過垂直運(yùn)動和水平運(yùn)動托起待加工基體，并將待加工基體通過側(cè)開口送入或移出刻蝕箱體；控制裝置，與刻蝕箱體和進(jìn)料裝置電連接，用于控制進(jìn)料裝置運(yùn)動以及控制移動吊具動作。簡化了工藝流程，工藝簡單易操作；生物刻蝕的刻蝕效率高，刻蝕精度能夠滿足加工需要。