一種基于半導(dǎo)體晶圓可接受度的測試方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111335459.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114090353A 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN114090353A 申請公布日 2022-02-25
分類號 G06F11/22（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 龔志杰;宋歡;林士涵;王恒;金俊杰 申請（專利權(quán)）人 中電九天智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都君合集專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 尹新路
地址 610200四川省成都市雙流區(qū)東升街道成都芯谷產(chǎn)業(yè)園區(qū)集中區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造與計算機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種基于半導(dǎo)體晶圓可接受度的測試方法，包括：通過文件傳輸協(xié)議實時將測試機(jī)臺產(chǎn)生的數(shù)據(jù)文件傳輸?shù)轿募捍嫦到y(tǒng)；在時間周期內(nèi)所有文件讀取、解析到數(shù)據(jù)庫中，存儲讀取的文件后刪除文件；預(yù)設(shè)任務(wù)請求；根據(jù)制定的數(shù)據(jù)判斷任務(wù)請求，獲取判斷的晶圓批次測試數(shù)據(jù)，預(yù)設(shè)激活規(guī)則，根據(jù)激活規(guī)則對晶圓批次測試數(shù)據(jù)進(jìn)行組合判斷，獲取判斷結(jié)果；將判斷結(jié)果反饋至制造執(zhí)行管理系統(tǒng)，進(jìn)行自動過站，并根據(jù)判斷結(jié)果提供報表接口展示給用戶查看。本發(fā)明還提供了一種基于半導(dǎo)體晶圓可接受度的測試系統(tǒng)，本發(fā)明解決了在半導(dǎo)體制造過程中進(jìn)行晶圓可接受度測試時對海量數(shù)據(jù)集合的處理設(shè)計與實現(xiàn)。