一種基于半導(dǎo)體晶圓可接受度的測(cè)試方法及系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111335459.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114090353A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114090353A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | G06F11/22（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分類(lèi) | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 龔志杰;宋歡;林士涵;王恒;金俊杰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中電九天智能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都君合集專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 尹新路 |
| 地址 | 610200四川省成都市雙流區(qū)東升街道成都芯谷產(chǎn)業(yè)園區(qū)集中區(qū) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造與計(jì)算機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種基于半導(dǎo)體晶圓可接受度的測(cè)試方法，包括：通過(guò)文件傳輸協(xié)議實(shí)時(shí)將測(cè)試機(jī)臺(tái)產(chǎn)生的數(shù)據(jù)文件傳輸?shù)轿募捍嫦到y(tǒng)；在時(shí)間周期內(nèi)所有文件讀取、解析到數(shù)據(jù)庫(kù)中，存儲(chǔ)讀取的文件后刪除文件；預(yù)設(shè)任務(wù)請(qǐng)求；根據(jù)制定的數(shù)據(jù)判斷任務(wù)請(qǐng)求，獲取判斷的晶圓批次測(cè)試數(shù)據(jù)，預(yù)設(shè)激活規(guī)則，根據(jù)激活規(guī)則對(duì)晶圓批次測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行組合判斷，獲取判斷結(jié)果；將判斷結(jié)果反饋至制造執(zhí)行管理系統(tǒng)，進(jìn)行自動(dòng)過(guò)站，并根據(jù)判斷結(jié)果提供報(bào)表接口展示給用戶查看。本發(fā)明還提供了一種基于半導(dǎo)體晶圓可接受度的測(cè)試系統(tǒng)，本發(fā)明解決了在半導(dǎo)體制造過(guò)程中進(jìn)行晶圓可接受度測(cè)試時(shí)對(duì)海量數(shù)據(jù)集合的處理設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)。 |
