一種半導(dǎo)體制造的流程卡管理方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111477737.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114154961A 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN114154961A 申請公布日 2022-03-08
分類號 G06Q10/10（2012.01）I;G06Q50/04（2012.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 王恒;宋歡;金俊杰;龔志杰;尤小龍 申請（專利權(quán)）人 中電九天智能科技有限公司
代理機構(gòu) 成都君合集專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 尹新路
地址 610200四川省成都市雙流區(qū)東升街道成都芯谷產(chǎn)業(yè)園區(qū)集中區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種半導(dǎo)體制造的流程卡管理方法及系統(tǒng)，包括：步驟S1.通過用戶實際業(yè)務(wù)場景判斷，如果是工程實驗，則使用批次拆分流程卡，進入步驟S2；如果是生產(chǎn)異?；謴?fù)，則使用批次恢復(fù)流程卡，進入步驟S3;步驟S2.在批次拆分流程卡中，選擇需要工程實驗的晶圓,與母批進行拆分，創(chuàng)建批次拆分流程卡并設(shè)置好起始站點和返回站點,子批進入批次拆分流程卡，完成之后返回站點與母批進行合并，批次拆分流程卡流程結(jié)束;步驟S3.在批次恢復(fù)流程卡中，選擇發(fā)生異常導(dǎo)致生產(chǎn)中斷的晶圓批次創(chuàng)建批次恢復(fù)流程卡，并設(shè)置好批次恢復(fù)流程卡的起始站點和返回站點，根據(jù)實際情況將該批次中的晶圓拆分為三部分進入到批次恢復(fù)流程卡中。