一種激光輔助鍍金剛石薄膜的工藝裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921401604.1 申請日 -
公開（公告）號 CN210367899U 公開（公告）日 2020-04-21
申請公布號 CN210367899U 申請公布日 2020-04-21
分類號 C23C16/27;C23C16/48 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 盧國東;蔡茜 申請（專利權(quán)）人 杭州玄和科技有限公司
代理機構(gòu) 成都為知盾專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 杭州玄和科技有限公司;四川藍(lán)手科技有限公司
地址 310000 浙江省杭州市拱墅區(qū)慶隆苑26幢26-20號(二層)商鋪
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種激光輔助鍍金剛石薄膜的工藝裝置，其中主要由激光發(fā)射器、透鏡、石英窗口、工藝氣進氣管、光束阻擋器、襯底、襯底支架、抽氣閥門、外接真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)和鍍膜腔體組成。所述激光發(fā)射器位于鍍膜腔體正上方，通過透鏡和石英窗口將激光光束引入鍍膜腔體內(nèi)部，工藝氣體在激光激發(fā)的作用下等離子化，經(jīng)過等離子化的氣體濺射到基材上，使基材表面上形成等離子體羽輝，從而形成金剛石薄膜。本實用新型是通過改變反應(yīng)氣體的介質(zhì)和流量比，實現(xiàn)SP2和SP3型金剛石復(fù)合化和納米化。本實用新型采用激光激發(fā)鍍膜沉積速度可提高10～100倍，甚至更高，在高技術(shù)和各種工業(yè)領(lǐng)域有著十分廣闊的應(yīng)用前景。