一種聚酰亞胺/類金剛石復合柔性膜及其制備方法與應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010402064.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111455345A 公開（公告）日 2020-07-28
申請公布號 CN111455345A 申請公布日 2020-07-28
分類號 C23C16/26;C23C16/02;C23C16/513;H01L51/52 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳小雄;林申旺;李志華 申請（專利權）人 山東申華光學科技有限公司
代理機構 濟南圣達知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 陳輝
地址 250306 山東省濟南市長清區(qū)通發(fā)大道1399號大學科研成果轉(zhuǎn)化服務中心5樓西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及柔性顯示屏技術領域，具體涉及一種聚酰亞胺/類金剛石復合柔性膜及其制備方法與應用。所述復合柔性膜包括聚酰亞胺膜和類金剛石碳膜，且該類金剛石碳膜沉積或者鍍在聚酰亞胺膜的表面。本發(fā)明在PI薄膜表面直接鍍上DLC膜，顯著提高了PI膜的表面硬度，增加了PI膜的耐磨性能，這種鍍有DLC膜的PI膜作為折疊式顯示屏或者柔性顯示屏完全能起到防止表面劃損作用。而且這種PI/DLC復合柔性膜不僅表面平整光滑，結(jié)構致密，摩擦系數(shù)小，硬度比單純的PI薄膜在硬度上提高了2?3個H。經(jīng)過穩(wěn)定性測試，這種PI/DLC復合柔性膜在水中浸泡一周后，DLC膜沒有脫離現(xiàn)象。另外，用雙手揉搓所制備的復合膜1000次也沒有起泡或脫膜現(xiàn)象。