一種高硬度TiAlZrN/CrN納米多層涂層及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410398736.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104152857B 公開（公告）日 2017-05-17
申請公布號 CN104152857B 申請公布日 2017-05-17
分類號 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張福深;劉輝;李偉 申請（專利權(quán)）人 徐州力泰鋼結(jié)構(gòu)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海新天專利代理有限公司 代理人 祖志翔
地址 221300 江蘇省徐州市邳州碾莊工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高硬度TiAlZrN/CrN納米多層涂層及其制備方法；所述納米多層涂層由多個TiAlZrN層和CrN層構(gòu)成，各TiAlZrN層和CrN層交替沉積在基體上形成納米量級多層結(jié)構(gòu)，其總厚度為2.4～5.8μm；所述納米多層涂層的制備方法為首先將基體表面拋光處理，經(jīng)超聲波清洗和離子清洗后，再采用反應(yīng)濺射法在基體上交替濺射TiAlZrN層和CrN層。本發(fā)明具有高硬度和高彈性模量，其最高硬度和最高彈性模量分別可達(dá)47.2?GPa和486.2GPa，由于CrN層的插入使涂層具有良好的耐蝕性，可廣泛作用于切削刀具、模具等零件的保護(hù)性涂層，其制備方法具有工藝簡單、沉積速度快、成本低、結(jié)合強(qiáng)度高等優(yōu)點。