一種差異化檢測的氣體傳感器及其氣體檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110958215.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113504272A 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN113504272A 申請公布日 2021-10-15
分類號 G01N27/12（2006.01）I;B82Y15/00（2011.01）I;B82Y30/00（2011.01）I;B82Y40/00（2011.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳卓;沈國震;周清峰 申請（專利權(quán)）人 艾感科技（廣東）有限公司
代理機構(gòu) 北京之于行知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 何志欣
地址 528012廣東省佛山市禪城區(qū)環(huán)市朝東大塘涌新村（2）-121號樓五樓自編11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種差異化檢測的氣體傳感器及其氣體檢測方法，至少包括三維納米管氣體傳感器陣列，所述三維納米管貫穿陽極氧化鋁薄膜并且允許氣體從三維納米管的兩端流通，其中，所述陽極氧化鋁薄膜第一表面的沿第一方向排列的且與傳感區(qū)域?qū)?yīng)的若干第一電極以打線結(jié)合的方式進行短接；所述陽極氧化鋁薄膜第二表面的沿第二方向排列的且與傳感區(qū)域?qū)?yīng)的共用第二電極與陶瓷層第一表面上的第三電極連接，所述陽極氧化鋁薄膜中由第一電極和第二電極電連接區(qū)域形成用于采集氣體成分的傳感區(qū)域。本發(fā)明將結(jié)合打線接合技術(shù)及上下交叉電極技術(shù)，集成三維納米管陣列，完成上下電極的引出，實現(xiàn)了能夠同時探測多種氣體的三維納米管傳感器陣列。