一種通過調(diào)控光和溫度制備氣體傳感器陣列的方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110823702.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113358711A 公開（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113358711A 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類號(hào) G01N27/12;B81C3/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 龔元兵;廖樹偉;丘勇才 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 艾感科技（廣東）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京之于行知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 何志欣
地址 528012 廣東省佛山市禪城區(qū)環(huán)市朝東大塘涌新村（2）-121號(hào)樓五樓自編11號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于光和溫度調(diào)控的氣體傳感器陣列，至少包括基底和設(shè)置在基底上的由若干傳感像素排布形成的傳感像素陣列，傳感像素包括至少一個(gè)加熱組件、氣敏單元和至少一個(gè)發(fā)光二極管，氣敏單元設(shè)置于加熱組件和發(fā)光二極管之間，加熱組件以與氣敏單元相對(duì)應(yīng)的方式設(shè)置在基底內(nèi)，發(fā)光二極管設(shè)置在其照射范圍能夠覆蓋氣敏單元表面的空間位置，在加熱組件的溫度參數(shù)和發(fā)光二極管的光參數(shù)分別獨(dú)立變化的情況下，氣敏單元中的電阻基于溫度參數(shù)、光參數(shù)及其溫度參數(shù)和光參數(shù)構(gòu)成的組合參數(shù)的影響形成對(duì)于氣體氛圍具有差異化影響的若干種電阻參數(shù)，從而基底上的傳感像素陣列形成在同一時(shí)刻對(duì)氣體氛圍存在若干種差異性響應(yīng)的氣體傳感器陣列。