一種干膜曝光系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021085760.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212658941U | 公開（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申請公布號 | CN212658941U | 申請公布日 | 2021-03-05 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 李貴;叢翼;楊長林;倪超劍 | 申請（專利權(quán)）人 | 安徽省華興達光電有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 馬聰 |
| 地址 | 234000安徽省宿州市市轄區(qū)宿馬園區(qū)三期標準化廠房B5棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及一種干膜曝光系統(tǒng)，包括冷鏡、固定在橫梁上的橢圓集光器、燈體、豎直反射鏡和平行反射鏡，燈體上方通過橢圓集光器連接有呈傾斜設(shè)置的冷鏡，冷鏡上的照射光穿過平面積光器和豎直反射鏡并延伸至平行反射鏡上，平行反射鏡之間設(shè)有曝光照射面，燈體包括燈管，燈管一側(cè)通過導(dǎo)線連接有端子，燈管另一側(cè)通過燈管套蓋連接有固定座，固定座和燈管套蓋之間通過螺紋連接的方式進行固定，燈管外壁邊緣通過內(nèi)水套連接有外水套，內(nèi)水套和外水套之間設(shè)有置于殼體內(nèi)部的冷卻液，冷卻液通過循環(huán)泵的方式在燈體內(nèi)部實現(xiàn)流動。有益效果：本實用新型能夠有效及時的進行散熱，聚光效果好，提高了曝光的工作效率，有利于產(chǎn)品質(zhì)量的提高。?? |
