一種用于芯片缺陷檢測系統(tǒng)圖像獲取的照明裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111096263.3 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113758873A 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號(hào) CN113758873A 申請公布日 2021-12-07
分類號(hào) G01N21/01（2006.01）I;G01N21/88（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 程坦;劉濤;鄒愛剛;汪瑋 申請（專利權(quán)）人 中科海拓（無錫）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽善安知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陳庭
地址 214000江蘇省無錫市濱湖區(qū)新城置業(yè)大廈20樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于芯片缺陷檢測系統(tǒng)圖像獲取的照明裝置，包括遮光罩、鏡頭固定座、同軸平行光源模塊和漫射光源模塊，所述鏡頭固定座安裝在遮光罩的上端。本發(fā)明所述的一種用于芯片缺陷檢測系統(tǒng)圖像獲取的照明裝置，通過設(shè)有的同軸平行光源模塊和漫射光源模塊，當(dāng)平行光線照射在芯片表面時(shí)，引腳面和中心焊盤等金屬區(qū)域部分在平行光的照射下發(fā)生鏡面發(fā)射，而塑封面由于其表面粗糙度較大，則發(fā)生漫反射，而由漫射光源模塊的漫射LED燈珠發(fā)射的漫射光照射在芯片表面時(shí)，可以增強(qiáng)照射在塑封面表面的光照強(qiáng)度，使得芯片表面缺陷成像效果更加的均勻，可以提高芯片表面缺陷圖像的質(zhì)量，有利于后續(xù)更好的對圖像進(jìn)行處理和分析。