一種基于深度學(xué)習(xí)技術(shù)的遠(yuǎn)端芯片缺陷檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111096252.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113870202A 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN113870202A 申請公布日 2021-12-31
分類號 G06T7/00;G06T7/11;G06T7/13;G06T7/136;G06T7/62;G06T7/66;G06K9/32;G06K9/46;G06K9/62;G06N3/02;G06T3/60;G06T5/20 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 程坦;鄒愛剛;劉濤;汪瑋 申請（專利權(quán)）人 中科海拓（無錫）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽善安知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陳庭
地址 214000 江蘇省無錫市濱湖區(qū)新城置業(yè)大廈20樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于深度學(xué)習(xí)技術(shù)的遠(yuǎn)端芯片缺陷檢測系統(tǒng)，包括硬件系統(tǒng)、軟件系統(tǒng)和訓(xùn)練模塊，所述硬件系統(tǒng)包括網(wǎng)絡(luò)服務(wù)設(shè)備、圖像存儲設(shè)備、數(shù)據(jù)庫和負(fù)載均衡器，所述軟件系統(tǒng)包括圖像處理軟件、算法處理軟件和服務(wù)器終端平臺軟件。本發(fā)明所述的一種基于深度學(xué)習(xí)技術(shù)的遠(yuǎn)端芯片缺陷檢測系統(tǒng)，本發(fā)明通過軟件系統(tǒng)的算法，并提出一種芯片缺陷圖像等級劃分方法，解決了現(xiàn)有的芯片缺陷IC檢測設(shè)備只能檢測芯片的好壞，但不能對芯片缺陷進(jìn)行類別劃分和等級劃分的問題，通過進(jìn)行人工標(biāo)記獲取包括所有缺陷類別的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)集，可以提高檢測的精確度，同時本系統(tǒng)可以在單位時間內(nèi)對大量缺陷圖像進(jìn)行處理，提高了檢測速度。