電子級(jí)高純甲基磺酸的合成

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200810052794.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101560173A 公開（公告）日 2009-10-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN101560173A 申請(qǐng)公布日 2009-10-21
分類號(hào) C07C309/04(2006.01)I;C07C303/16(2006.01)I 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 張文仲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津市康沃特科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 300384天津市華苑產(chǎn)業(yè)園區(qū)物華道8號(hào)凱發(fā)大廈A座522室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 電子級(jí)高純甲基磺酸的合成。甲基磺酸是微電子行業(yè)芯片集成電路的封裝后處理電鍍工序的主劑。本發(fā)明是以二甲基二硫?yàn)樵嫌眠^氧化氫一步氧化成甲基磺酸。工藝簡單，節(jié)能，無三廢，是綠色環(huán)保型工藝。