一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用硅片拋光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023232494.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214956761U 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN214956761U 申請公布日 2021-11-30
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/304（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曹福斌 申請（專利權(quán)）人 深圳市永而佳電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州知管通專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 尉敏
地址 518000廣東省深圳市光明新區(qū)公明辦事處玉律社區(qū)第六工業(yè)區(qū)第21棟2、3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用硅片拋光裝置，包括開設(shè)在工作臺(tái)上的滑槽，所述滑槽內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺桿，且螺桿上螺紋連接有滑塊，所述滑塊延伸至滑槽外的一端固定安裝有放置板，且放置板上安裝有固定機(jī)構(gòu)，所述工作臺(tái)上合頁連接有密封框，且密封框上固定安裝有吸收座，所述工作臺(tái)上固定安裝有吸收室，且吸收室與吸收座之間連通有吸收管，所述工作臺(tái)上固定安裝有兩個(gè)對稱設(shè)置的立桿，且兩個(gè)立桿上均通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)安裝有支桿。優(yōu)點(diǎn)在于：本實(shí)用新型所用結(jié)構(gòu)較為簡便，可降低硅片拋光操作的生產(chǎn)以及使用成本，且可對拋光過程產(chǎn)生的粉末硅進(jìn)行收集保存，便于對其進(jìn)行二次利用，一定程度上可提高資源利用率，確保工作環(huán)境整潔。