一種半導體芯片生產設備的機械手傳送設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022280528.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214878420U 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN214878420U 申請公布日 2021-11-26
分類號 B65G47/91（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 占方耀 申請（專利權）人 深圳市永而佳電子有限公司
代理機構 杭州知管通專利代理事務所（普通合伙） 代理人 尉敏
地址 518000廣東省深圳市光明新區(qū)公明辦事處玉律社區(qū)第六工業(yè)區(qū)第21棟2、3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導體芯片生產設備的機械手傳送設備，包括機械手臂，所述機械手臂內部設有腔體，所述腔體內部設有滑桿，所述腔體內固定有兩塊限位板，所述滑桿通過貫穿兩塊所述限位板在腔體內部上下滑動，所述機械手臂外壁固定有與滑桿外壁連接的伸縮機構，所述機械手臂頂部設有用于夾持芯片的夾持機構，所述夾持機構通過活動機構與滑桿活動連接，所述機械手臂下方設有凸形固定底座，所述機械手臂下端設有與凸形固定底座配合的凹口，所述機械手臂通過第二轉軸與凸形固定底座活動連接。本實用新型結構合理，便于對不同長度的半導體芯片進行固定，芯片在固定的時候不易受損，且較傳統(tǒng)機械手機動性更強。