一種輔助集成電路近場掃描儀精準(zhǔn)定位的裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210160261.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114217143A 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN114217143A 申請公布日 2022-03-22
分類號 G01R29/08（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I;G01B5/00（2006.01）I;G01B11/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張紅麗;齊曉輝;李宏;吳健煜;鄭亦菲 申請（專利權(quán)）人 天津鯤鵬信息技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙國科天河知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 段盼姣
地址 300459天津市濱海新區(qū)塘沽海洋科技園匯祥道399號信安創(chuàng)業(yè)廣場9號樓8-9層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種輔助集成電路近場掃描儀精準(zhǔn)定位的裝置和方法。該裝置包括位于被測集成電路正上方的探頭，對探頭進(jìn)行位移調(diào)度的計(jì)算機(jī)及配套的三維移動平臺，第一顯微鏡、第二顯微鏡以及標(biāo)尺；標(biāo)尺平行貼靠在被測集成電路的第一邊，該第一邊的第一端點(diǎn)對應(yīng)標(biāo)尺上的第一刻度點(diǎn)，取該第一端點(diǎn)為被測集成電路原點(diǎn)；第一顯微鏡中心軸線與探頭尖共線并與XY平面垂直，在XY平面內(nèi)移動第一顯微鏡和探頭進(jìn)行X、Y軸定位；第二顯微鏡中心軸線與探頭尖共線并與被測集成電路第一邊成45度角；根據(jù)預(yù)設(shè)測試高度、第二顯微鏡讀取的標(biāo)尺刻度值以及第一刻度點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)探頭在Z軸的定位。本裝置能夠?qū)崿F(xiàn)近場掃描裝置Z軸精準(zhǔn)定位，使近場掃描測試結(jié)果更精確。