一種晶圓焊接用托盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020824365.7 申請日 -
公開（公告）號 CN211654798U 公開（公告）日 2020-10-09
申請公布號 CN211654798U 申請公布日 2020-10-09
分類號 H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 桂琴;陳昊;廉鵬 申請（專利權）人 馬鞍山太時芯光科技有限公司
代理機構 合肥正則元起專利代理事務所（普通合伙） 代理人 馬鞍山太時芯光科技有限公司
地址 243000安徽省馬鞍山市承接產業(yè)轉移示范園區(qū)鳳凰山西路146號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種晶圓焊接用托盤，包括托盤本體，托盤本體安裝于支撐板上，支撐板下表面安裝有兩個第一槽鋼，兩個第一槽鋼之間轉動設置有第一轉動桿，兩個第一槽鋼之間滑動設置有第一移動桿，支撐板下方設置有底板，底板上表面安裝有兩個第二槽鋼。本實用新型通過將晶圓放置在托盤本體頂部，開啟氣泵，氣泵通過抽氣端從出氣孔處抽取抽氣腔內的空氣，從而使得抽氣腔呈負壓狀態(tài)，進而晶圓通過抽氣孔被吸附在托盤本體頂部，通過以上結構設置，通過抽真空結構將晶圓固定在托盤上，對晶圓的固定效果好，解決現(xiàn)有技術中晶圓固定用托盤為普通夾持方式對晶圓進行固定，固定不方便，同時無法滿足大尺寸晶圓固定的技術問題。??