蒸鍍坩堝及蒸鍍裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023343090.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215517604U 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN215517604U 申請公布日 2022-01-14
分類號 C23C14/24（2006.01）I;C23C14/12（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 林文晶;軒景泉;錢海濤;劉萍;呂海超 申請（專利權(quán)）人 上海升翕光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯思誠業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 肖麗
地址 200540上海市金山區(qū)夏寧路666弄62號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及蒸鍍設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種蒸鍍坩堝及蒸鍍裝置，前者包括坩堝本體和加熱裝置；坩堝本體的頂部設(shè)置有開口；加熱裝置設(shè)置于坩堝本體的外周壁，具有第一加熱部和第二加熱部；其中，第一加熱部與第二加熱部依次交錯(cuò)串聯(lián)設(shè)置多個(gè)；第一加熱部與坩堝本體的整體外周壁對應(yīng)設(shè)置；第二加熱部與坩堝本體的靠近開口的局部外周壁對應(yīng)設(shè)置。后者包括前者。第一加熱部對坩堝本體的整體外周壁進(jìn)行加熱，第二加熱部對坩堝本體的靠近開口的局部外周壁進(jìn)行額外的加熱，以確保坩堝本體的開口周壁處的溫度高于坩堝本體其他部位的溫度，而且一個(gè)供電系統(tǒng)即可對多個(gè)第一加熱部及多個(gè)第二加熱部同時(shí)供電加熱，具有能夠簡化加熱系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)。