一種桌面便攜式無掩膜曝光機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220190994.8 申請日 -
公開（公告）號 CN216871006U 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN216871006U 申請公布日 2022-07-01
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 周銳;陳哲堃;王振忠;朱宇超;嚴星;洪明輝 申請（專利權(quán)）人 廈門大學
代理機構(gòu) 廈門市首創(chuàng)君合專利事務所有限公司 代理人 -
地址 361000福建省廈門市思明南路422號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種桌面便攜式無掩膜曝光機，其特征在于：包括殼體和安裝在所述殼體內(nèi)的激光系統(tǒng)、微透鏡陣列模塊、移動平臺及電源，所述的微透鏡陣列模塊設在激光系統(tǒng)與移動平臺之間，所述的移動平臺承載加工基片，激光系統(tǒng)發(fā)出的激光束照射到微透鏡陣列模塊上被分束和聚焦后投射到移動平臺上的加工基片進行曝光。它具有如下優(yōu)點：實現(xiàn)無掩膜光刻，加工效率高，尤其適用周期性圖案的曝光加工，小型化、便于移動和攜帶。