一種預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)的透明晶圓邊緣提取方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010903002.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111952230B | 公開（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111952230B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-16 |
| 分類號(hào) | H01L21/68(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 戴金方 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫卓?？萍脊煞萦邢薰?/a> |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 聶啟新 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市天山路6-2407 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)的透明晶圓邊緣提取方法，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，該方法包括：不放置晶圓時(shí)采集線陣型CCD傳感器的第一受光數(shù)據(jù)作為光源基準(zhǔn)波形；放置待測透明晶圓并控制移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)至晶圓邊緣位于線陣型CCD傳感器的檢測范圍內(nèi)；旋轉(zhuǎn)待測透明晶圓并采集線陣型CCD傳感器的第二受光數(shù)據(jù)，從中提取出邊緣數(shù)據(jù)；將邊緣數(shù)據(jù)和光源基準(zhǔn)波形進(jìn)行差分處理，通過處理獲取線陣型CCD傳感器的遮光位置；對(duì)該遮光位置進(jìn)行邊緣補(bǔ)償修正得到補(bǔ)償后傳感器的遮光位置；通過數(shù)模信號(hào)轉(zhuǎn)換后輸出給預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)得到待測透明晶圓的邊緣位置。邊緣補(bǔ)償修正提高了晶圓邊緣提取的精度，該提取方法使現(xiàn)有的預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)也能支持透明晶圓的邊緣提取。?? |
