一種晶圓位置檢測裝置仿真測試系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010903005.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111983432A | 公開（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申請公布號 | CN111983432A | 申請公布日 | 2020-11-24 |
| 分類號 | G01R31/28(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 戴金方 | 申請（專利權(quán)）人 | 無錫卓?？萍脊煞萦邢薰?/a> |
| 代理機構(gòu) | 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 無錫卓?？萍加邢薰?/td> |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市天山路6-2407 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓位置檢測裝置仿真測試系統(tǒng)，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，該系統(tǒng)利用測試方波發(fā)生器產(chǎn)生測試矢量發(fā)送給晶圓位置檢測裝置，可以自動化的對晶圓位置檢測裝置進行仿真測試而無需實測，易于實現(xiàn)。且通過測試矢量中時間同步信號的波形形態(tài)變化、傳感器仿真信號的波形形態(tài)變化以及兩者之間的相對相位調(diào)整，可以模擬下不同檢測場景中不同晶圓放置狀態(tài)，同時通過在波形中加入雜波并進行細分微調(diào)，可以模擬各類干擾影響因素，覆蓋的測試情形更全面，可以有效測試晶圓位置檢測裝置的準(zhǔn)確性、完備性和魯棒性。?? |
