一種晶圓狀態(tài)檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011203131.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112305631B | 公開（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112305631B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-15 |
| 分類號(hào) | G01V8/20（2006.01）I;G01B11/02（2006.01）I;G01B11/06（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 耿曉楊;戴金方;周天游 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫卓?？萍脊煞萦邢薰?/a> |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 聶啟新 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市漓江路11號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓狀態(tài)檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，該裝置包括光路升降模組、升降外罩、置于升降外罩內(nèi)部的固定內(nèi)罩和置于固定內(nèi)罩中的氣缸、擋光尺；升降外罩的第一側(cè)與光路升降模組的一側(cè)相連，且相連側(cè)上均開設(shè)有第一透光孔，升降外罩的第二側(cè)上設(shè)有第一激光接收傳感器，固定內(nèi)罩的相對(duì)側(cè)上開設(shè)有第一透光槽，擋光尺放置在第一透光槽之間，且擋光尺上設(shè)有與晶舟凹槽分布相同的梳齒槽；光路升降模組輸出的激光依次通過第一透光孔、第一透光槽、梳齒槽射入至第一激光接收傳感器；氣缸的活塞桿通過伸縮孔連接到升降外罩的頂部，帶動(dòng)升降外罩和光路升降模組同步移動(dòng)，該裝置為非侵入式檢測(cè)，提升了晶圓狀態(tài)檢測(cè)的效率和精度。 |
