一種晶圓檢測(cè)裝置用信號(hào)模糊控制濾波器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010945635.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112038252A 公開（公告）日 2020-12-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112038252A 申請(qǐng)公布日 2020-12-04
分類號(hào) H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李玲婭;戴金方;耿曉楊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫卓?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 無(wú)錫卓?？萍加邢薰?/td>
地址 214000 江蘇省無(wú)錫市天山路6-2407
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓檢測(cè)裝置用信號(hào)模糊控制濾波器，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，該信號(hào)模糊控制濾波器串接在晶圓檢測(cè)裝置的檢測(cè)傳感器和處理器之間獲取原始傳感器信號(hào)，同時(shí)旁路連接同步齒條采樣時(shí)間同步信號(hào)，基于原始傳感器信號(hào)和時(shí)間同步信號(hào)可以產(chǎn)生處理后信號(hào)，處理后信號(hào)從原始傳感器信號(hào)的第一次有效信號(hào)沿開始輸出單個(gè)標(biāo)準(zhǔn)寬度的第一次有效電平，然后輸出與原始傳感器信號(hào)同步的電平直至原始傳感器信號(hào)的第二次有效信號(hào)沿時(shí)再次輸出單個(gè)標(biāo)準(zhǔn)寬度的第二次有效電平，處理后信號(hào)相對(duì)于原始傳感器信號(hào)進(jìn)行了理想化有特征的歸一濾波，可以有效濾除掉原始傳感器信號(hào)中的雜波以及各種異常噪聲，從而可以有效提高晶圓檢測(cè)裝置的檢出性能。