一種透明晶圓薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011018352.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112082677A 公開（公告）日 2020-12-15
申請公布號 CN112082677A 申請公布日 2020-12-15
分類號 G01L1/24;G01B11/255;G01B11/06;H01L21/66 分類 測量；測試;
發(fā)明人 耿曉楊;陳楊;季建峰 申請（專利權(quán)）人 無錫卓?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 無錫卓海科技有限公司
地址 214000 江蘇省無錫市天山路6-2407
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種透明晶圓薄膜應(yīng)力測量系統(tǒng)，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，包括共焦測距傳感器、傳感器固定臺、晶圓固定臺、傳感器控制器、控制單元和計(jì)算機(jī)，傳感器固定臺帶動共焦測距傳感器沿水平x方向和垂直晶圓固定臺z方向移動，傳感器控制器連接共焦測距傳感器，控制單元分別連接傳感器控制器和傳感器固定臺，控制單元根據(jù)距離值調(diào)整傳感器固定臺沿x方向和z方向的位移值，以完成透明晶圓一個直徑方向的測量，將距離值與傳感器固定臺對應(yīng)的位移值進(jìn)行處理得到透明晶圓在鍍膜前的基片厚度、基片表面曲率以及鍍膜后的膜厚、覆膜表面曲率，計(jì)算機(jī)連接控制單元，用于計(jì)算透明晶圓的應(yīng)力數(shù)據(jù)，本系統(tǒng)利用光譜共焦測距技術(shù)提升了應(yīng)力數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確度。