一種晶圓位置檢測(cè)裝置仿真測(cè)試系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010903005.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111983432B | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111983432B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | G01R31/28(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 戴金方 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫卓?？萍脊煞萦邢薰?/a> |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 過顧佳;聶啟新 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市天山路6-2407 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓位置檢測(cè)裝置仿真測(cè)試系統(tǒng)，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，該系統(tǒng)利用測(cè)試方波發(fā)生器產(chǎn)生測(cè)試矢量發(fā)送給晶圓位置檢測(cè)裝置，可以自動(dòng)化的對(duì)晶圓位置檢測(cè)裝置進(jìn)行仿真測(cè)試而無需實(shí)測(cè)，易于實(shí)現(xiàn)。且通過測(cè)試矢量中時(shí)間同步信號(hào)的波形形態(tài)變化、傳感器仿真信號(hào)的波形形態(tài)變化以及兩者之間的相對(duì)相位調(diào)整，可以模擬下不同檢測(cè)場(chǎng)景中不同晶圓放置狀態(tài)，同時(shí)通過在波形中加入雜波并進(jìn)行細(xì)分微調(diào)，可以模擬各類干擾影響因素，覆蓋的測(cè)試情形更全面，可以有效測(cè)試晶圓位置檢測(cè)裝置的準(zhǔn)確性、完備性和魯棒性。?? |
