一種自動校準補償?shù)耐该骶A表面曲率半徑測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011016003.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112103201B 公開（公告）日 2021-03-16
申請公布號 CN112103201B 申請公布日 2021-03-16
分類號 H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 耿曉楊;陳楊;舒暢 申請（專利權(quán)）人 無錫卓?？萍脊煞萦邢薰?/a>
代理機構(gòu) 無錫華源專利商標事務所（普通合伙） 代理人 聶啟新
地址 214000江蘇省無錫市天山路6-2407
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自動校準補償?shù)耐该骶A表面曲率半徑測量方法，涉及半導體技術(shù)領(lǐng)域，該方法包括：建立各波長與距離值的對應關(guān)系；確定晶圓檢測范圍；移動共焦測距傳感器至透明晶圓的檢測位置，移動透明晶圓至晶圓檢測范圍中心位置；判斷檢測位置是否在晶圓檢測范圍內(nèi)：若否則記錄軸向調(diào)整高度值；若是則選擇反射光小孔透過率最大波長作為檢測位置的焦點波長，得到其對應的距離值；計算補償?shù)玫礁叨茸兓?；移動共焦測距傳感器至下一檢測位置，重新執(zhí)行判斷步驟直至所有檢測位置檢測完畢；對所有高度變化值進行擬合得到透明晶圓一直徑方向的表面曲率半徑。該方法適用于透明晶圓的測量，且自動校準補償測量值以獲取高精度的表面曲率半徑。??