缺陷分類器和缺陷分類方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110607390.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113298166A 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN113298166A 申請公布日 2021-08-24
分類號 G06K9/62;G06K9/46 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 劉成成;王振;韓春營;俞宗強;喬靜;張旭陽 申請（專利權(quán)）人 中科晶源微電子技術(shù)（北京）有限公司
代理機構(gòu) 北京市鼎立東審知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳佳妹;朱慧娟
地址 102600 北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海四路156號院12號樓5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種缺陷分類器，該缺陷分類器包括第一層分類器和第二層分類器，第一層分類器，被配置為將缺陷圖像進行第一次分類得到淺分類層缺陷類別，第二層分類器，被配置為將淺分類層缺陷類別進行第二次分類得到深分類層缺陷類別。第一層分類器為model?based分類器，第二層分類器為rule?based分類器和model?based分類器中的至少一種。在復(fù)雜分類場景中，利用本申請的多層缺陷分類器實現(xiàn)各種類型缺陷的準確分類，利于缺陷原因的準確分析排查，從而改善良率，提高生產(chǎn)。